集微网消息（文/春夏）集成电路被称为信息技术产业的“粮食”，是所有电子产品的核心部件。但与此同时，集成电路也是一个“烧钱”的行业。流片作为芯片生产过程中重要的一环，也是极为耗钱的一个环节。
以台积电的5nm与7nm为例，据透露，台积电5nm全光罩流片费用大概要3亿人民币，而且费用还不包含ip授权，所以目前看来只有苹果和华为海思准备切入到这一最先进的工艺节点，其他家芯片厂都还在考虑阶段。台积电第二代7nm euv工艺的流片费用大约为3000万美元，大约在2亿人民币左右。
尽管鲜有本土ic企业会触及5nm、7nm工艺，但从其中也能感受到流片费用的耗钱程度。
因此，“流片补贴”也成为我国集成电路相关政策中重要的补贴项目。
深圳
今年4月29日，深圳市人民政府办公厅印发了《关于加快集成电路产业发展若干措施》，多措施推进深圳集成电路产业重点突破。
其中，专门指出将加强对设计企业流片支持。对于使用多项目晶圆进行研发的设计企业，给予多项目晶圆直接流片费用最高70%、年度总额不超过300万元的资助。对于首次完成全掩膜工程产品流片的企业，给予流片费用最高50%、年度总额不超过500万元的资助。
此外，深圳坪山科技创新局还专门开展了2019年集成电路第三代半导体专项资金申报工作。
在支持流片专项资助方面，对集成电路设计企业参加 mpw 项目，按 mpw 直接费用的 80％（高校或科研院所参加 mpw 项目的，按 mpw 直接费用的 90%），给予每家企业年度最高 200 万元的资助。对利用坪山区企业开展 mpw 的，按上述比例，给予每家企业年度最高 400 万元的资助。对集成电路设计企业首次工程流片进行资助，按首次工程流片费用（含 ip 授权或购置、掩模版制作、流片等）的 30%，给予每家企业年度最高 300 万元的资助。利用坪山区企业集成电路生产线流片的，按首次流片费用的 60%，给予每家企业年度最高 600 万元的资助。
福建
近年来，福建一直在重点发展集成电路，同时省内也有多个城市出台了相关扶持政策。
今年6月，晋江发布了《晋江市加快培育集成电路全产业链的若干意见的补充意见》。
对采用多项目晶圆（mpw）技术的集成电路设计企业，按mpw直接费用的80%（高校或科研院所按90%）给予补助，对采用全掩膜工程片流片的，按照其每款产品首次工程流片费用（掩膜版费及流片加工费）的30%给予补助，单一企业年度最高限额400万元；对利用晋华集成电路生产线流片的企业，按首次工程流片费用（含ip授权或购置费、掩膜版费及流片加工费等）的40%给予补助，单一企业年度最高限额500万元。
2018年12月，福建省莆田市经信委发布《莆田市人民政府关于降低企业成本促进民营经济健康发展若干措施的通知》。
莆田将对集成电路设计企业，按照mpw流片费用80%补助，首轮工程流片按照流片费用的50%补助，每个企业年度补助金额最高200万元。
2018年10月，厦门市政府官网发出调整通知，调整《厦门市人民政府办公厅关于印发加快发展集成电路产业实施细则的通知》中第十七条“流片补助”的第一款补助标准。
原“用于研发的集成电路企业mpw，按照不高于mpw直接费用70%进行资助，用于研发的集成电路企业工程片试流片按照不高于其加工费30%进行资助”调整为“用于研发的集成电路企业mpw，按照不高于mpw直接费用70%进行资助，用于研发的集成电路企业工程片试流片按照不高于其加工费30%进行资助。针对硅cmos工艺最小线宽≤55nm、gaas mmic工艺最小线宽≤250nm等两类先进工艺，在以上标准基础上分别提高10个百分点，即mpw直接费用按照不高于80%进行资助，工程片试流片按照不高于其加工费40%进行资助。”
江苏
今年4月，南京市浦口区工信局发布了促进集成电路产业发展若干政策，在流片补贴方面，对于首次完成全掩膜（full mask）工程产品流片或开展多项目晶圆（mpw）首轮流片的集成电路设计企业，叠加市级奖补给予直接费用最高不超过 60%的补贴；对再次完成全掩膜（full mask）工程产品流片的，给予直接费用最高不超过 50%的补贴；每家企业最高不超过 600 万元。
此外，今年4月9日，无锡市政府举行新闻发布会，发布《关于进一步深化现代产业发展政策的意见》。
对拥有自主知识产权，且对工艺制程达到一定节点的产品进行工程流片（含mpw）的设计企业，择优最高按照该款产品首轮流片（含ip授权、掩模制版）费用的40%给予支持。对在本地生产企业掩模流片的，择优最高按首轮流片费用的60%给予支持。工艺制程为45nm以上的，单个企业支持总额不超过300万元；工艺制程达到45nm及以下的，单个企业支持总额不超过600万元。
浙江
今年2月，浙江宁波高新区出台了《关于加快软件和信息服务业发展的政策意见》。
该文件指出，将对高新区内集成电路设计、制造企业进行工程流片的费用，按照当年实际发生额给予50%的补助，年补助金额不超过200万元。
山东
今年2月，《青岛红岛经济区加快新旧动能转换推动产业发展若干政策实施细则》出炉，该政策在鼓励集成电路项目落地方面提出8条补助措施。在流片补助方面，青岛红岛经济区将按照产品掩膜版制作费用的 60%或首轮流片费用的 40%，每年给予最高不超过 150 万元研发支持，连续支持 3 年。
天津
今年1月，天津市西青区发布了《西青区加快振兴现代服务业支持政策》的通知。
其中，对集成电路设计企业参加多项目晶圆（mpw）项目（含单企业多项目晶圆项目），按照直接费用的80%给予补助；对设计企业购买光罩（mask）的，按照直接费用的40%给予补助；对设计企业工程片、试流片加工费用的40%给予补助。以上三项单家企业每年累计最高享受补助不超过600万元。
广东
今年1月，珠海国家高新区在其官网上发布了《珠海高新区加快推进集成电路设计产业发展扶持办法（试行）》
在流片补贴支持方面，珠海高新区的集成电路设计企业在参加多项目晶圆（mpw）、工程片试流片阶段，市、区财政均将对企业多项目晶圆（mpw）直接费用给予不同的补贴；对企业首次工程片流片加工费（含ip授权或购置、掩模版制作、流片等）市、区也将给予相应的补贴。单个企业年度市、区两级补贴金额不超过600万元。
安徽
2018年8月，《合肥高新区促进集成电路产业发展政策》得到2018年管委会第6次主任办公会通过，正式进行发放。合肥高新区将对集成电路设计企业产品光罩、流片（含掩模版等）费用的30%及从第三方购买ip（含foundry 的ip模块）费用的30%予以补贴，以上费用补贴总额单个企业每年最高不超过500万元。
重庆
2018年8月，重庆发布《重庆市加快集成电路产业发展若干政策》，对实际到位投资2000万元以上的集成电路设计企业，按照其每款产品完成首次全掩膜工程流片费用50%的比例给予资金支持，对单个企业年度支持总额不超过1000万元。对使用多项目晶圆流片进行研发的企业（高校、科研机构），按照mpw流片费50%的比例给予资金支持，对单个企业（高校、科研机构）年度支持总额不超过100万元。对集成电路制造企业开放产能为企业代工流片的，按照每片（折合8寸片）100元的标准给予资金支持，对单个企业年度支持总额不超过1000万元。
成都
2018年1月，成都发布《〈成都高新区关于支持电子信息产业发展的若干政策〉实施细则》，对利用区内企业代工新产品首轮流片(mask、mpw或工程批流片)的企业，按照流片费用50%的标准每年给予最高300万元的支持;对利用区外企业代工新产品首轮流片(mask、mpw或工程批流片)的企业按照流片费用30%的标准每年给予最高300万元的支持。
上海
上海是国内集成电路产业起步最早、产业链最完整、综合技术水平最高的地区。因此，早在2017年，上海就制定发布了《上海市集成电路设计企业工程产品首轮流片专项支持办法》，对经过全掩膜板（full mask）流片，以及首次与本市集成电路制造企业签订流片合同，利用其生产线实现线宽在45纳米及以下工程产品流片，上海将给予不超过产品流片费用的30%的资金支出。其中，流片费具体包括：ip授权费、掩膜版费、测试化验加工费。单个企业年度支持总金额不超过1500万元。（校对/小北）

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